기계설비인증
SEMI
SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International )
SEMI S2 | 반도체 생산 장비를 위한 환경 보건 및 안전과 관련된 가이드라인 |
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SEMI S6 | 반도체 생산장비에서 배기시스템의 보건환경 안전을 위한 가이드라인 |
SEMI S8 | 반도체 생산장비에서 인체공학적 원리를 적용한 안전 가이드라인 |
SEMI S23 | 반도체 생산장비의 사용에 의한 에너지, 물질 등의 보존에 관한 가이드라인 |
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